WaveMaster® Compact Reflex 

透過Shack-Hartmann傳感器測量單透鏡表面形貌

WaveMaster® Compact 2  Reflex針對方便性和靈活性進行了優化，使用反射式的Shack-Hartmann傳感測器測量表面輪廓

主要特點

• 使用Shack-Hartmann傳感器快速測量表面輪廓
• 在不同樣品間可快速切換
• 快速的測量速度與高量的產出
• 亞微米等級的高精度雙軸調整樣品架
• 校正補償: 於相同樣品中，僅需要最微量的樣品校正調整
• 測量精度達λ/ 20
• 波前傳感器和成像物鏡在出瞳的自動定位
• 波前數據與主鏡頭或設計值的實時比較
• 提供不同數值孔徑的點光源(最高0.95)
• 低振動敏感度
• 使用Shack-Hartmann傳感器測量和分析表面的整合軟體 

產品應用

WaveMaster® Compact Reflex可以應用在下述部分

• 測量非球面透鏡，球體和平片的表面形貌
• 半徑量測

Shack-Hartmann傳感器測量曲面和半徑

WaveSensor®軟體結構清晰且易於使用，包含所有測量和分析樣品。

該軟體與Shack-Hartmann傳感器進行通信，並即時分析測量的鏡片表面。此外，它還可以控制WaveMaster®儀器。

優點

• 表單驅動的操作指南
• 簡單直觀地測量和分析波前和表面
• 全方位的軟體功能：數據收集，數據計算，校準，數據顯示，即時分析
• 通過多重參數表現各種表面形貌：

1. 非球面方程
2. Zernike多項式
3. 圓錐方程
4. 球面方程
5. 自由曲面

• 載入參考表面數據並在測量過程中進行即時比較

軟體詳述

基本功能：

• 即時測量和分析波前
• 顯示：

1. 2D-或3D-的波前、邊緣和相位
2. PV和RMS
3. 強度
4. 局部斜率
5. 相機圖像

• 絕對和相對測量模式
• 與主鏡頭或設計數據進行即時比較
• 波前和相機圖像的平均
• 測量和分析區域的可調式遮罩
• 可儲存的配置檔
• 憑證
• 多種分析可用模組

WaveMaster®儀器控制:

• 自動對焦功能
• 自動尋找出射曈平面
• 自動樣品定位（選配）
• 使用預先設定的配置檔

反射分析模組：

• 即時表面形貌分析
• 即時表面擬合
• 與參考數據進行比較
• 將參考數據輸入為係數或點雲資料
• 結果(通過/失效)判定分類
• 以數字和圖形顯示的擬合結果與設計資料的比較

Upgrades & Accessories for WaveMaster® Compact Universal 

升級及配件

波前儀的特點是靈活的設計，可以使儀器適應特定的應用需求。

WaveMaster®系統的功能在以下附件和升級的幫助下得以擴充。

波前傳感器

當需要更高的動態範圍或精度時，WaveMaster®儀器的波前傳感器可以互換。作為升級，所有可用的WaveSensor®設備都可以實施到WaveMaster®儀器中。TRIOPTICS提供多種波前傳感器，可根據要求提供。

照明

可使用各種具有不同波長和數值孔徑的光源。

藉由運動支架，可以更簡易的更換數值孔徑。

準直儀

為了最大程度地利用傳感器的動態範圍，可使用一套準直儀來增加橫向分辨率。

根據樣品直徑和波前傳感器的尺寸，必須選擇最佳的放大倍率。運動支架可以方便地更換準直儀。