ImagesMaster®PRO 10 Wafer 晶圓級鏡頭的測試

Image Master® PRO 10 Wafer是專為滿足量測新世代的晶圓級鏡頭產品的需求所設計。

主要特點

• 全自動化的晶圓級光學鏡頭量測(每單個鏡頭量測時間小於1.3秒)
• 晶圓弓形測量
• 對應Spacer厚度，具備最高的FFL量測精度
• 傾斜校正功能(弓形補償)
• 直徑不超過8英寸的任何晶圓(200 mm)
• 測量圓形或矩形晶片上的透鏡，或放置在盤中的單個透鏡
• 通過符合運動學的架構，和晶圓旋轉、移位調整工具輕鬆裝載
• 針對每種類型的鏡片使用最合適的評估標準
• 可追溯到國際標準的測量規範
• 無塵室兼容性

產品應用

ImageMaster®PRO系列產品可測量以下參數：

• 軸上和離軸MTF
• MTF最佳鏡頭性能（傾斜校正）
• 多頻率MTF測量
• 有效焦距（EFL）
• 法蘭焦距（FFL）
• 場曲率
• 圖像平面的傾斜
• 景深
• 最佳焦點位置
• 散光
• 相對失真

MTF-PRO MTF生產測試軟體

已被廣泛認可的ImageMaster®PRO軟體MTF-Pro，具備速度更快、性能更先進、測試結果清晰顯示的特點。在MTF測量領域多年的經驗下TRIOPTICS不斷改進以產生此優化的MTF演算法。

優點

• 基於眾多可自由選擇的標準下，可自動顯示通過或失敗的結果
• 軟體可支援所有相機的即時影像。
• 可選配光靶轉化器(RC)、濾光片轉化器(FC)，或光靶及濾光片轉化器(RC/FC)
• 個別設定每個相機的空間頻率
• 為軸上和離軸相機設定聚焦曲線的設置
• 三個不同的安全級別: 文件安裝和關鍵功能都受密碼保護
• 儲存的鏡頭和批量數據可透過Excel進行數據分析
• 直觀的測量數據圖形顯示，以便在早期階段檢測出超出規格的鏡頭
• 在影像領域顯示MTF對稱性的極坐標圖

ImageMaster®PRO 升級及配件

• 視場擴展升級：從帶有9個鏡頭的ImageMaster®PRO 10升級到帶有27個鏡頭的ImageMaster®PRO 10
• 相機和物件交換裝置，用於擴展測量範圍
• 升級20mm到150mm物距的有限距MTF測試
• FFL距離感測器
• 條碼掃描器
• NIR和IR光源和檢測器
• 各種托盤
• 動態安裝中的附加十字線
• 無限距調整(選配)
• 備用套件