WaveMaster® Compact 2操作簡單,測量快速。它是使用了Shack-Hartmann原理的精密光學儀器,使用在平面、球面及非球面光學元件的研究與開發。
主要特點
- 在不同樣品間可快速切換,成像物鏡也可簡單地進行更換
- 快速的測量速度與高量的產出
- 亞微米等級的高精度雙軸調整樣品架
- 校正補償: 於相同樣品中,僅需要最微量的樣品校正調整
- 測量精度達λ/ 20
- 自動對焦光源
- 波前傳感器和成像物鏡在出瞳的自動定位
- 波前數據與主鏡頭或設計值的實時比較
- 提供不同數值孔徑的點光源(最高0.95)
- 低振動敏感度
- 高整合軟體
產品應用
WaveMaster®Compact使用其內建的Shack-Hartmann感測器來確定以下參數:
- 波前量測(PV, RMS)
- 決定Zernike係數
- 點擴散方程的量測(PSF)
- 調製傳遞函數(MTF量測)
- 量測Strehl比
- 楔形角度
Shack-Hartmann傳感器進行波前測量
WaveSensor®軟體結構清晰且易於使用,包含所有測量和分析平面,球面和非球面樣品的功能。
該軟體與Shack-Hartmann傳感器進行通信,並即時分析測得的波前。此外,它還可以控制WaveMaster®儀器。
優點
- 表單驅動的操作指南
- 簡單直觀地測量和分析波前和表面
- 全方位的軟體功能:數據收集,數據計算,校準,數據顯示,即時分析
- 載入ZEMAX(可執行標準序列光學元件光線追蹤,非連續光學元件雜散光追蹤,以及物理光學光束傳播)和Code V(綜合性涵蓋了廣泛的光學結構與計算,提供設計、公差、價格、製造與組合的全方位發展平台,可建構多樣性的光學系統,透過圖表方式呈現出系統性能,並利用限制條件與誤差函數進行優化)的理論數據,並在測量過程中進行即時比對
- l控制WaveMaster®儀器
軟體詳述
基本功能
- 2D-或3D-的波前、邊緣和相位
- PV和RMS
- 強度
- 局部斜率
- 相機圖像
- 絕對和相對測量模式
- 與主鏡頭或設計數據進行即時比較
- 波前和相機圖像的平均
- 測量和分析區域的可調式遮罩
- 可儲存的配置檔
- 憑證
- 多種分析可用模組
MTF / PSF分析模組
- 即時計算並顯示3D MTF和PSF數據
- 帶有MTF測量結果的表格
- 測量結果的導出功能
- 斯特列爾比(Strehl Ratio)的計算
ZERNIKE分析模組
- Zernike多項式即時擬合和分析波前數據
- 以數字和圖形顯示的擬合結果
- 從ZEMAX和CODE V導入波前理論數據進行即時比較
- 以ASCII和ZEMAX格式導出波前數據和分析結果
- 可顯示Zernike係數趨勢
WaveMaster®儀器控制
- 自動對焦功能
- 自動尋找出射曈平面
- 自動樣品定位(選配)
- 使用預先設定的配置檔
Upgrades & Accessories for WaveMaster Compact 2
波前儀的特點是靈活的設計,可以使儀器適應特定的應用需求。WaveMaster®系統的功能在以下附件和升級的幫助下得以擴充。
波前傳感應器
當需要更高的動態範圍或精度時,WaveMaster®儀器的波前傳感器可以互換。作為升級,所有可用的WaveSensor®設備都可以實施到WaveMaster®儀器中。TRIOPTICS提供多種波前傳感器,可根據要求提供。
照明
可使用各種具有不同波長和數值孔徑的光源。藉由運動支架,可以更簡易的更換數值孔徑。
準直儀
為了最大程度地利用傳感器的動態範圍,可使用一套準直儀來增加橫向分辨率。
根據樣品直徑和波前傳感器的尺寸,必須選擇最佳的放大倍率。運動支架可以方便地更換準直儀。