OptiSurf PRO AR

用於表徵單個波導和其他平面光學元件以及波導堆疊的幾何特性。

堆疊波導由兩個或三個晶片組成，各個晶片之間的相對傾斜會導致不必要的顏色誤差。PRO AR可以精確地測量這種傾斜度。這裏關注的焦點是波導的單個元件相對於彼此或相對於機械參考的傾斜。另一個重要的應用是測量波導區域的總厚度變化（TTV），因為過多的厚度變化會嚴重降低生成圖像的對比度（MTF）®®

無論您是從事波導堆疊或光學元件的製造、研究還是品質控制，該系統都能以亞微米精度測量堆疊中元件之間的單個中心厚度和氣隙。它還直接在軟體中分析傾斜度、表面形狀和翹曲度。

OptiSurf PRO AR的主要測量應用如下：

單個AR波導或平面光學元件幾何特性的無損表徵：測量重力下垂、2D厚度分佈、總厚度變化、1D和2D晶圓翹曲等

堆疊式 AR 波導的幾何特性的無損表徵，該波導由兩個或多個波導組成，中間有氣隙：單個波導的 2D 厚度分佈、總厚度變化、1D 和 2D 晶圓弓等，以及波導之間的 2D 傾斜度和距離（氣隙厚度）。

影響影像品質的因素：

• 層/樣品厚度不均勻
• 堆疊層之間的氣隙/膠水
• 層的傾斜
• 堆疊層的內部翹曲

OptiAngle 6 和 OptiSurf®

為操作、校準和測量過程提供專業的軟體支援。

可定製的軟體介面。

傾斜度、表面形狀和翹曲直接在軟體中進行分析。