µPhase® UNIVERSAL 

對應各種測量的水平設置干涉儀

μPhase®UNIVERSAL是針對研發中的測量而優化的，是μPhase®產品系列中最靈活的儀器。 

水平設計使它能夠測量尺寸，半徑和材料不同的多種透鏡和部件。

主要特點

• 通用的2、4或6英寸測量系統可用於測試平面和球面
• 水平設計可用於長半徑的測量
• 整合到樣品輸送帶上的半徑測量系統
• 兼容其他市售的4’’鏡頭
• 可支持透射或均勻度測量
• 選配：電腦全像術CGH支架(用於非球面，圓柱體或複曲面測量)

µShape^TM Interferometer Software干涉儀軟體

每個μPhase®干涉儀都提供了一個以應用為中心的μShape™軟體版本。

它用於測量平面、球面、圓柱、複曲面和非球面或波前的形貌，適用於生產，實驗室和研究。

附加模組可以使軟體更加適合客戶的特定需求。

即使已經先購買了μPhase®系統，也可以隨時添加這些模組。

μShape™軟體控制和顯示測量結果，儲存和記錄所有測量原始數據，並確保最大的透明度和可追溯性。

憑藉清晰的表單化操作界面，μShape™完美地處理各種測量要求，並提供了擴充μShape™功能的多種模組。

優點

• 可使設置針對不同的用戶級別，而有不同的訪問權限
• 詳細且敏銳的線上支援
• 預先設置的模板，可輕鬆套用在任何類型的測量和分析
• 圖形視窗可以儲存為各種圖形格式（BMP，JPG ...）輸出
• 將單個參數或選取的數據輸出為文字檔(TXT)、二進制或其他常用文件格式（例如QED，Zygo XYZ，DigitalSurf）以進行外部處理
• 測量結果能夠以參數的形式或橫截面(2D、3D)圖形表示
• 測量協定可以廣泛地進行配置，使顯示結果一目了然，甚至包括客戶的標誌
• 常用的程式功能可建立捷徑
• 各種程序模式能夠將各單獨的視覺化校準和測量過程及其參數以即時相機圖像進行匯整
• 以μShape™程序文件中的數據格式範本來儲存各項參數和設定，包括窗口大小和位置
• 以定期更新的方式持續改進 - 依客戶要求或軟體價格來提供

附加模組

對於擴展的測量和進一步的分析，μShape™軟體提供了多種附加模組，如果需要，可以由用戶添加。

其中包括：

• 分析球面或在CGH設置下的非球面
• 分析圓柱或複曲面
• 用於通過外部程序控制干涉儀的外部通信介面，例如自動化系統
• 測量玻璃板的均勻度
• 焦點或無窮遠的光學元件或系統的MTF分析
• 一次測量多個孔徑，例如拋光頭(polishing head)
• 同時對多個孔徑進行統計分析
• 棱鏡和楔形的測量和分析
• 考量已知的樣品誤差，例如由光學設計造成的偏差
• 分析車床的刀具偏差
• 分析晶圓板
• 粗糙度和粒徑(PSD，Particle Size Density)分析
• 在不穩定的環境中進行靜態邊緣快速分析 

附加軟體

非球面分析

非球面模組的特點是藉由較強大的電腦全像術（CGH）來分析旋轉對稱非球面，而不是以較弱的球面分析設置方式來分析旋轉對稱非球面。非球面的描述可以輸入和儲存，且支持各種儲存格式。藉由軟體提供的非球面擬合功能，可有效地消除調整誤差以及系統設置誤差。 

圓柱型分析

圓柱型模式可使用電腦全像術(CGH）來分析圓柱型樣品。藉由軟體提供的圓柱型擬合功能來消除調整誤差。 

外部介面

外部介面模式可讓μShape和外部軟體（例如LabVIEW™）之間進行通信。

光纖連接器

光纖連接器附件提供了根據國際IEC條立，對物理接觸類型的光纖連接器終端介面的分析。主要參數僅用一次測量，並顯示可選擇的分析(合格/不合格)結果選項。

均勻度

在均勻度程式模式中，可以判斷待測樣品光通道受到的兩種影響，即均勻度（折射率變化）和厚度變化。

側面拼接

在外部控制和分析程序的幫助下，您的干涉儀可以在孔徑中測量較大的平面或球面樣品，並將它們拼接在一起以獲取完整表面的資訊。可根據測試要求與側向定位系統做連接。

數學運算模式

在這個程序模式下，不同的數據圖可以通過數學計算結合到一個附加的結果圖中進行分析，但矩陣操作(Matrix operations)是不可行的。

多孔徑分析

該模式能夠在一個區域中對各個獨立的孔徑進行同步的測量和分析，例如測量固定在拋光頭(polishing head)上的零件。

多重統計分析

當樣品規格為同一個樣品的不同區域定義不同的條件時，MultiStat模式允許在一次測量中計算所有樣品，並分別列出每個區域的結果。

棱鏡分析

藉由分析觀察到的邊緣干涉形態(根據偏差角度從目標角度90°相對於0°)可以量測到90度角的角度誤差、角形反射棱鏡以及楔形角。

樣本正常數據

樣本正常數據（Sample Normal Data）可以指定並考量到測試樣品的附加錯誤，例如設計相關的公稱值。

刀具偏移

在μShape軟體中可藉由執行刀具偏移補償計算的方式，來補償車床校準的誤差。

晶圓分析

晶圓分析能夠對任意大小的矩形區域中的圓形孔徑進行細分，並藉由算術平均值來表示每個子區域，即SFQR（局部平整度範圍）值。

環面分析

在環面分析軟體的幫助下，可以在複曲面或球形設定下分析附加複曲面樣品。剩餘的調整誤差可藉由圓環擬合功能來消除。在測量隱形眼鏡和模具上非常有用。

楔形分析

楔形分析使用待測物後方的輔助鏡，一次性確定平面鏡的楔角和平面透射板的光楔角。

客製化軟體

TRIOPTICS開發了各種干涉測量軟體，並提供客戶特定的測量程序、特定參數的計算以及特殊需求的數據顯示和輸出。請聯繫當地的μPhase®合作夥伴並描述您的要求。

µPhase®升級及配件

常規

• 將µPhase®傳感器從µPhase®1替換為µPhase®3.3，以將攝像機分辨率從608 x 608像素增加到1216 x 1216像素
• 標準波長為632.8 nm，可根據要求提供355 nm至1100 nm之間的波長
• 水平或垂直支架

所有基本的μPhase設備和大多數平面物鏡都採用卡口式(bayonet)連接，可以在不同的系統配置之間快速輕鬆地進行交換

• 具有不同直徑的平坦和球形校準表面

非塗佈

鏡面

• 辦公室及工作站進行離線分析和記錄不需與μPhase®硬體連結

波長

μPhase 3 XL 具有不同的波長

久經考驗且高度集成的相移干涉儀 μPhase 3 XL 經過修改，可用於各種波長：®

• 支援藍色、綠色和深紅色光源
  • 目前為 405、532 和 1064nm，其他波長可根據要求提供
  • 標準版 @ 633nm
• 所有波長的反射率適應和物面聚焦能力
• 所有波長的感測器具有相同的機械尺寸和介面

鏡頭

• µLens SPHERO 10 f/0,7
• µLens SPHERO 10 f/1
• µLens SPHERO 10 f/1,5
• µLens SPHERO 10 f/3
• µLens SPHERO 10 f/5,2
• µLens SPHERO 50 f/0,7
• µLens SPHERO 50 f/1
• µLens SPHERO 50 f/1,5
• µLens SPHERO 50 f/2,4
• µLens SPHERO 50 f/4,1

μLens SPHERO 物鏡與 μLens SPHERO 10 相結合

μLens SPHERO 物鏡與 μLens SPHERO 50 結合使用