µPhase® VERTICAL

對應實驗室、生產和研究用，靈活的干涉儀    

這款設備齊全的一件式干涉儀採用模組化設計，可根據客戶要求進行獨立配置。

主要特點

• 非常靈活的干涉儀系統
• 垂直安裝，佔用面積小
• 可動的z(垂直)軸
• 樣品可藉由翻轉傾斜平台和x-y轉換平台進行校準
• 獨特的設計，適用於各種反射和透射測量
• 整合的自動半徑測量
• 選配：電腦全像術CGH支架(用於非球面，環面或圓柱面測量)

干涉儀軟體

描述

借助可自由配置的µShape™軟體，µPhase®理想地用於生產以及研發。該軟體控制測量，提供全面的分析選項及完整的文件。測量模板可以最大程度地提高測量過程的透明度，並可以快速記錄測試結果。

結構清晰，表單化用戶界面的μShape™始終符合µPhase®的廣泛使用，並可通過可用模塊以多種不同方式進行擴展。 即使已經先購買了μPhase®系統，也可以隨時添加這些模組。

µShape™軟體主要是為µPhase®操作而開發，但也可用於操作其他製造商的實驗室和車間干涉儀。客制化的功能開發是可達成的。 

特徵

• 可使設置針對不同的用戶級別，而有不同的訪問權限
• 針對全面及具體情況的直接幫助
• 由於易於配置的模板可用於任何類型的測量工作和分析，因此易於使用且減少用戶的培訓
• 可保存測量結果而無需重新測量的重新分析選項
• 簡易存儲各種圖形格式的圖形（bmp，jpg…）
• 將單個參數或選取的數據輸出為文字檔(TXT)、二進制或其他常用文件格式（例如QED，Zygo XYZ，DigitalSurf）以進行外部處理
• 測量報告提供了全面的結果表示，並且可以通過多種方式進行配置，包括客戶的標誌
• 通過分別顯示校準和測量過程的清晰結構，清晰顯示程序模式
• 以2D，3D圖形或可自由選擇的截面圖形（1D）全面顯示測量參數作為測量值，包括完整的即時相機圖像
• 以μShape™程序文件中的數據格式範本來儲存各項參數和設定，包括窗口大小和位置，快速測量重複零件
• 以持續開發和定期更新的方式提供最新技術，或者依客戶要求或軟體價格來提供
• 可與Windows 10一起使用 

功能

"非球面"：球面或CGH設置中的非球面分析

非球面模組的特點是藉由較強大的電腦全像術（CGH）來分析旋轉對稱非球面，而不是以較弱的球面分析設置方式來分析旋轉對稱非球面。非球面的描述可以輸入和儲存，且支持各種儲存格式。藉由軟體提供的非球面擬合功能，可有效地消除調整誤差以及系統設置誤差。

"圓柱型"：圓柱型分析

圓柱型模式可使用電腦全像術(CGH）來分析圓柱型樣品。藉由軟體提供的圓柱型擬合功能來消除調整誤差。 

"外部介面"：外部通訊介面

外部介面模式可讓μShape和外部軟體（例如LabVIEW™）之間進行通信，以通過外部程序（例如，示波器）控制干涉儀。在自動化系統中

"快速波紋"：靜態條紋分析

該模塊可以分析單個干涉圖，以便在不穩定的環境中或使用不帶移相裝置的干涉儀進行測量。

"光纖連接器"：光纖連接器分析

光纖連接器附件提供了根據國際IEC條立，對物理接觸類型的光纖連接器終端介面的分析。主要參數僅用一次測量，並顯示可選擇的分析(合格/不合格)結果選項。

"均勻度"：測量透明樣品的均質性

在均勻度程式模式中，可以判斷待測樣品光通道受到的兩種影響，即均勻度（折射率變化）和厚度變化。

"數學模式"：數學運算模式

在這個程序模式下，不同的數據圖可以通過數學計算結合到一個附加的結果圖中進行分析，但矩陣操作(Matrix operations)是不可行的。

"多孔徑"：一步進行多孔徑分析

該模式能夠在一個區域中對各個獨立的孔徑進行同步的測量和分析，例如測量固定在拋光頭(polishing head)上的零件。

同時測量未連接的孔的可能性也使楔形分析成為可能。這一分析可用於確定平面鏡的楔角以及一個物體後方帶有附加鏡的平面傳輸板的光學楔角。

"多重統計"：對多個子光圈的相同統計分析

當樣品規格為同一個樣品的不同區域定義不同的條件時，MultiStat模式允許在一次測量中計算所有樣品，並分別列出每個區域的結果。

"MTF / PSF"：MTF分析

在光學領域，MTF用於描述光學系統的質量。該模塊允許計算焦點和無焦點光學組件和系統的MTF

"棱鏡"：棱鏡分析

藉由分析觀察到的邊緣干涉形態(根據偏差角度從目標角度90°相對於0°)可以量測到90度角的角度誤差、角形反射棱鏡以及楔形角。

"粗糙度/ PSD"：粗糙度和PSD的分析

該模塊允許沿著自由定義的直線計算功率譜密度（PSD）以及粗糙度參數。

"樣本正常數據"：考慮已知樣本偏差

樣本正常數據（Sample Normal Data）可以指定並考量到測試樣品的附加錯誤，例如設計相關的公稱值。

µPhase®升級及配件

常規

• 將µPhase®傳感器從µPhase®1替換為µPhase®3.3，以將攝像機分辨率從608 x 608像素增加到1216 x 1216像素
• 標準波長為632.8 nm，可根據要求提供355 nm至1100 nm之間的波長
• 水平或垂直支架

所有基本的μPhase設備和大多數平面物鏡都採用卡口式(bayonet)連接，可以在不同的系統配置之間快速輕鬆地進行交換

• 具有不同直徑的平坦和球形校準表面

非塗佈

鏡面

• 辦公室及工作站進行離線分析和記錄不需與μPhase®硬體連結

波長

μPhase 3 XL 具有不同的波長

久經考驗且高度集成的相移干涉儀 μPhase 3 XL 經過修改，可用於各種波長：®

• 支援藍色、綠色和深紅色光源
  • 目前為 405、532 和 1064nm，其他波長可根據要求提供
  • 標準版 @ 633nm
• 所有波長的反射率適應和物面聚焦能力
• 所有波長的感測器具有相同的機械尺寸和介面

鏡頭

• µLens SPHERO 10 f/0,7
• µLens SPHERO 10 f/1
• µLens SPHERO 10 f/1,5
• µLens SPHERO 10 f/3
• µLens SPHERO 10 f/5,2
• µLens SPHERO 50 f/0,7
• µLens SPHERO 50 f/1
• µLens SPHERO 50 f/1,5
• µLens SPHERO 50 f/2,4
• µLens SPHERO 50 f/4,1

μLens SPHERO 物鏡與 μLens SPHERO 10 相結合

μLens SPHERO 物鏡與 μLens SPHERO 50 結合使用